Устройства очистки аргона и других технологических газов Эпишур-А СЛ
Эпишур-А 12 СЛ
Эпишур-А 04 СЛ
Эпишур-А 32 СЛ
Эпишур-А СЛ — серия автономных установок, предназначенных для тонкой очистки и осушки таких технологических газов как аргон, гелий, азот и водород.
Применяется в работе с абсорбционными, оптическими эмиссионными спектрометрами и другими приборами, использующими инертный газ в качестве:
- плазмообразующего газа в спектрометрах с RLC, ИСП и микроволновым разрядом
- газа-носителя в хроматографии
а также в качестве защитной среды:
- при дуговой, плазменной или лазерной сварке
- при выращивании кристаллов германия и кремния
- в производстве полупроводников.
Устройства могут быть использованы в системах циркуляции газа для решения широкого спектра исследовательских и производственных задач, требующих чистой инертной среды или заданного газового состава в герметичных камерах (боксах), технологических установках и помещениях.
Технические особенности устройства Эпишур-А СЛ
- Высокая сорбционная ёмкость фильтров, рассчитанная на реальное качество используемого газа, получаемое при загрязнении газовых баллонов у пользователей а также в результате рабочих процессов в боксах
- Независимый нагрев фильтров, позволяющий использовать различную конфигурацию видов сорбентов и катализаторов в зависимости от типа очищаемого газа
- Автоматическая система контроля заданных параметров режимов работы устройства
- Широкий диапазон допустимого давления в газораспределительной системе устройства — от вакуума до 5 МПа
- Регенерация фильтров без отключения устройства от газовых магистралей через дополнительные клапан и отвод
- Эффективная фильтрация выходящего газа от пыли и других мелких частиц размером до 1 мкм
- Большой выбор соединительной арматуры, обеспечивающей высокую герметичность во всех технологических процессах
- Возможность интеграции в устройство электронных датчиков и сенсоров для контроля степени очистки газа по основным примесям загрязнения
Панель управления Эпишур-А СЛ (модификации с интегрированными датчиками кислорода и влаги)
Система отбора проб и контроля содержания кислорода и влаги «Тайган СЛ»
Принцип действия
Используемая в Эпишур-А СЛ четырёхступенчатая система газоочистки позволяет обеспечить надёжную подачу газа требуемых параметров и в необходимом объёме к потребителю, поддерживает высокий уровень чистоты по примесям — менее 1 ppm общего загрязнения. Выбор применяемых для этого фильтров определяется техническими условиями работы устройства и типом очищаемого газа:
- Очистка водорода от кислорода осуществляется путём его каталитического гидрирования
- Для удаления из аргона и других инертных газов примесей кислорода, азота, водорода используется метод их хемосорбционного взаимодействия с твёрдыми поглотителями
- Процесс осушки газов от исходно присутствующей и реакционной влаги реализуется посредством её адсорбции на молекулярных ситах.
Регенерация фильтров производится термическим способом с автоматическим регулированием температурных режимов.
Для работы в системах циркуляции газов Эпишур-А СЛ оснащаются мембранными насосами-компрессорами. При этом обеспечивается непрерывное нагнетание потоков газов и их смесей в технологиях с применением как избыточных давлений, так и вакуума.
Основные технические характеристики модификаций Эпишур-А СЛ
| Параметры | Эпишур-А 100 СЛ | Эпишур-А 12 СЛ | Эпишур-А 04 СЛ | Эпишур-А 32 СЛ | Эпишур-А 212 (204, 232) СЛ |
| Предполагаемый уровень загрязнения на входе (ppm) | ≤ 50 | 70...150 | 100...300 | 300...1000 | 70...1000 |
| Уровень загрязнения на выходе (ppm) | < 0,3 | < 0,5 по объёмной доле влаги | |||
| Производительность, max (л/мин) | 10 | 30 | 100 | 500 | 30...500 |
| Фильтр I, очистка от примесей | кислород, азот | ||||
| Фильтр II (возможна многократная регенерация), очистка от примесей | водород, угарный газ, углеводороды | ||||
| Фильтр III (возможна многократная регенерация), очистка от примесей | вода, углекислый газ, сероводород, лёгкие углеводороды | ||||
| Фильтр IV (возможна многократная регенерация), очистка от примесей | кислород | ||||
| Фильтр тонкой очистки (размер пылевых частиц), мкм | ≥1 | ||||
| Потребляемая мощность в рабочем режиме, кВт | ≤1 | ≤1 | ≤2 | ≤3 | ≤1 |
| Масса, кг | 30 | 40 | 57 | 190 | Стандартные корпуса Эпишур-А 11, 03, 32 СЛ |
| Габаритные размеры, мм | 750×420×320 | 730×590×360 | 1130×610×390 | 1800×840×580 | |