Анализатор влажности чистых газов Pura
Внесён в Государственный реестр средств измерений РФ под № 70078-17
Анализатор «Пура» используется для измерения температуры точки росы чистых газов в полупроводниковой промышленности.
Прибор основан на импедансной технологии.
Прибор выпускается в двух модификациях: обычная и Pura Plus для чистых комнат (поставляется в специальной упаковке).
Обе модификации имеют искробезопасное исполнение.
При необходимости локального отображения влажности прибор может быть укомплектован блоками электроники с дисплеями.
Монтажная длина приборов составляет 120 мм и соответствует принятым в отрасли стандартам.
Для установки приборов используются фитинги VCR.
Метрологические характеристики
| Диапазон измерения ТТР | −120...-40 °С | |
| Погрешность измерения | -120...-100 °C ТТР | ±4 °C ТТР |
| -100...-60 °C ТТР | ±2 °C ТТР | |
| -60...-40 °C ТТР | ±1 °C ТТР | |
Анализируемый газ в сочетании с водяными парами не должен вызывать коррозию чувствительного элемента
Требования к пробе
| Давление | 0...240 бар |
| Температура | −60...+40 °C |
| Расход | 1...5 л/мин. |
Интеграция с системой управления
| Аналоговый выход | 4...20 мА |
Корпус и питание
| Класс защиты корпуса | зависит от модификации и исполнения |
| Питание | 12...28 В |
| Вес | 0,4 кг |
Габаритные размеры